執行標準:GB/T12022-2014

項 目

指  標

六氟化硫（SF6）質(zhì)量分數/10-2,            ≥

99.9

空氣（Air）質(zhì)量分數/10-6,               ≤

300

四氟化碳（CF4）質(zhì)量分數/10-6 ,          ≤

100

六氟乙烷（C2F6)質(zhì)量分數/10-6，          ≤

200

八氟丙烷（C3F8)質(zhì)量分數/10-6，          ≤

50

水(H2O)質(zhì)量分數/10-6 ,                  ≤

5.0

酸度（以HF計）質(zhì)量分數/10-6 ,          ≤

0.2

可水解氟化物（以HF計）質(zhì)量分數/10-6 , ≤

1.0

礦物油（質(zhì)量分數）/10-6,              ≤

4.0

生物試驗

無(wú)毒